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探头
量程
低端 分辨率
误差
最小曲率半径 (凸/凹)
最小测量 区域直径
最小基 体厚度
探头尺寸
磁 感 应 法
f05
0-500μm
0.1μm
±(1%±0.7μm)
1/5mm
3mm
0.2mm
φ15x62mm
f1.6
0-1600μm
±(1%±1μm)
1.5/10mm
5mm
0.5mm
f1.6/90
平面/6mm
φ8x8x170mm
f2/90
0-2000μm
0.2μm
f3
0-3000μm
f10
0-10mm
5μm
±(1%±10μm)
5/16mm
20mm
1mm
φ25x46mm
f20
0-20mm
10μm
10/30mm
40mm
2mm
φ40x66mm
f50
0-50mm
±(3%±50μm)
50/200mm
300mm
φ45x70mm
两 用
fn1.6
f0.5mm/n50μm
fn1.6p
平面
30mm
φ21x89mm
fn2
电 涡 流 法
n02
0-200μm
±(1%±0.5μm)
1/10mm
50μm
φ16x70mm
n.08cr
0-80μm
2.5mm
100μm
n1.6
n1.6/90
平面/10mm
φ13x13x170mm
n2
n2/90
n10
±(1%±25μm)
25/100mm
50mm
φ60x50mm
n20
±(1%±50μm)
70mm
φ65x75mm
n100
0-100mm
±(1%±0.3mm)
100mm/平面
200mm
φ126x155mm
cn02
10-200μm
7mm
无限制
φ17x80mm
