荧光测厚仪常见覆盖层测量的典型测量范围
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常见覆盖层测量的典型测量范围 |
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表a.1 常见覆盖层测量的典范测量范围 |
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覆盖层 |
基体 |
近似厚度范围 |
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μm |
in |
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铝 |
铜 |
0~100.0 |
0~0.004 |
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镉 |
铁 |
0~60.0 |
0~0.0024 |
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铜 |
铝 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
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铜 |
铁 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
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铜 |
塑料 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
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金 |
陶瓷 |
0~8.0 |
0~0.00032 |
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金 |
铜和镍 |
0~8.0 |
0~0.00032 |
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铅 |
铜和镍 |
0~15.0 |
0~0.0006 |
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镍 |
铝 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
|
镍 |
陶瓷 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
|
镍 |
铜 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
|
镍 |
铁 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
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钯 |
镍 |
0~40.0 |
0~0.0016 |
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钯-镍合金 |
镍 |
0~20.0 |
0~0.0008 |
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铂 |
钛 |
0~7.0 |
0~0.00028 |
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铑 |
铜或镍 |
0~50.0 |
0~0.0020 |
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银 |
铜或镍 |
0~50.0 |
0~0.002 |
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锡 |
铝 |
0~60.0 |
0~0.0024 |
|
锡 |
铜或镍 |
0~60.0 |
0~0.0024 |
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锡-铅合金 |
铜或镍 |
0~40.0 |
0~0.0016 |
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锌 |
铁 |
0~40.0 |
0~0.0016 |
注1：在整个范围内测量不确定度不是恒定的，而且靠近每个范围两端会增大。
注2：所给定的范围是近似的，而且主要取决于可接受的测量不确定度。
注3：如果同时测量表层和中间层，由于荧光x射线光束的各种相互作用，即表层会吸收中间层的荧光，那么各覆盖层材料可测厚度范围会发生变化，例如测量在铜上的金和镍时，若金覆盖层厚度超过2.0微米，则无足够的荧光保证镍层高精度测量。
注4：当进行厚度大于0微米（如铜或镍上的金：±0.005微米）覆盖层厚度测量过程中，测量不确定度。这就必须了解测量范围的下线。
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